첨단산업분야의 생산공정에 필요한 각종 유틸리티에 대한 설비인, DI(DEIONIZED WATER)시스템은 주로 RO 역삼투압정제설비, 마이크로 필터, 활성탄필터, UV STERILIZER, MBD(MIXED BED DEIONIZER), MBP(MIXED BED POLISHER) 등으로 구성되며 반도체 등과 같은 초정밀 산업에서의 극도로 정제된 초순수를 대량 공급하는 시스템입니다.

CDA((COMPRESSED DRY AIR) 시스템은 압축공기 중에 포함되는 먼지, 유분, 수분 등의 오염물질을 요구정도에 로 제거해서 최적의 압축공기를 공급하는 시스템이며 PCW(POWER SUPPLY COOLING WATER)시스템은 장비에 설치되어 있는 부품 등의 냉각을 시키는 위한 것이고 반도체공정에 사용되는 장비에서의 고온히터나 발열로 인한 화재나 고장을 방지하기 위한 냉각수 시스템입니다.

진공(PROCESS VACUUM)시스템은 생산공정과 생산 장비에 필요한 지공상태를 공급하기 위한 진공라인이며 가스공급시스템은 GN2, PN2로 구성되며 클린룸 내부에서 발생되는 폐수는 산 용기를 설치하여 자연배수시키고 공정장비에서 유출되는 산가스 (유독성)를 덕트를 통하여 스크라버를 몇차례 걸친 후 수산화나트륨과 물로 세정한후 대기로 방출하게 됩니다. 유기성가스와 열배기는 유기성 필터를 거친 후 덕트를 통하여 대기로 방출하며 가스룸 시설과 유틸리티 시스템을 실시간 모니터링 하여 효율적인 시스템 관리가 되도록 시공하고 있으며 종합적인 유틸리티 설비에 대한 솔루션을 제공하고 있습니다.